概述
气态分子污染物CF4泄漏分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术,结合量子级联激光(QCL)光源,工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度可以无时延的探测最微小浓度的CF4喷溅或者溢出,同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年,大大减低了总体持有成本。
气态分子污染物CF4泄漏分析仪测量参数:
l响应时间:取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约10秒到几分钟不等
l监测下限:小于0.1ppb
l动态量程:大于5个数量级(检测下限的100,000倍)
l重复性:运行条件下,校准浓度重复性小于1%
l准确度:校准浓度高于5%,受限于校准气体准确度
l温度稳定性:在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移
l压力稳定性:压力范围内的样品压力变化不会导致漂移
优势
l准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制
l快速的响应时间,以捕捉浓度突然上升
l独立运行系统,内置气体交换泵
l无耗材或者化学试剂
l短光程,单点校准也可达到业内水平的动态量程
l直接吸收测量,无漂移
l校准间隔长(可达数年)
l高选择性,不受乙醛和其他VOC的干扰
http://www.bjdktech.com/Products-35503399.html
https://www.chem17.com/st307321/erlist_2408087.html
CF4泄漏分析仪